这个神奇的空间不仅能存储材料，更能屏蔽外界的干扰，为他提供绝对安静、安全的研发环境。

更重要的是，这里有系统提供的技术资料、加工设备以及一套完整的智能辅助系统，几乎可以将他的效率提升到极致。

“光刻机……”许志远缓缓走到一张巨大的工作台前，摊开一张图纸，指尖轻轻滑过标注密密麻麻的技术细节，嘴角勾起一抹笑意，“是时候让那些看不起我的人见识一下，什么叫真正的技术实力了。”

他深吸一口气，开始梳理制造光刻机的关键步骤。

第一步：光源系统的研发

“光刻机的灵魂是光源，没有高效稳定的光源，光刻机就是个废物。”许志远低声自语，目光落在一台高功率激光器上。

为了实现第一代光刻机的目标，他选用了193纳米的深紫外(Deep Ultraviolet，DUV)光源。这是目前最成熟的光刻机光源技术，虽然国际上的EUV(极紫外)光刻技术更先进，但他深知，以现在的资源和条件，193纳米已经是最现实的选择。

“深紫外光源的核心在于光束整形和能量稳定。”许志远走到激光器旁，打开盖板，露出内部复杂的光学结构。他迅速调出系统提供的设计方案，开始逐一比对。

他首先需要组装一套高效的光束整形系统，将激光器发出的光束调整成均匀的矩形光斑。在普通人眼中，这是一个极其复杂的过程，但对许志远来说，有系统的加持，一切都变得清晰明了。

“镜片组……反射镜……波片……”他一边自言自语，一边从材料堆里挑选出需要的光学组件。每一块镜片都必须达到亚纳米级的精度，稍有误差，整个光束整形系统就会失效。

许志远将镜片固定在光束整形模块的框架上，小心翼翼地调整角度和位置。这个过程需要极高的耐心和细致，每一个调整都要经过反复计算。

“系统，测试光束输出。”他一声令下，工作台上的智能屏幕立刻亮起，显示出光束的分布图。