研发新型光刻胶和蚀刻液，保证图案转移的清晰度和稳定性。

第三阶段：样机制造与测试

样机设计：基于攻克的核心技术，设计并制造第一代光刻机原型机。

硅片加工测试：通过样机对硅片进行光刻测试，评估电路刻蚀的精度和良率。

优化迭代：根据测试结果，不断优化光源、镜片、掩模版等核心部件，提升设备的性能和稳定性。

第四阶段：量产与工业化推广

量产计划：在第一代光刻机样机通过测试后，制定量产计划，确保设备能够满足龙国工业化需求。

技术封装：对核心技术进行加密，防止国外势力窃取技术成果。

人才培养：通过研发过程，培养一批掌握光刻机技术的人才，为下一代设备研发奠定基础。

许志远看着自己写满了三大张纸的研发计划，心中满是斗志。他深知光刻机的研发道路注定坎坷，但他也清楚，这条路一旦踏上，等待他的将是前所未有的成就。

“90纳米制程工艺虽然不是顶尖，但它是我们追赶世界的一步！”许志远喃喃自语，眼神坚定。

……

许志远在工业部的会议室里，面对着几十位官员和技术专家，郑重其事地将光刻机研发的提案摆在了桌上。

他的语气坚定，眼神中满是对未来的渴望：“同志们，光刻机的研发是我们的当务之急！它不仅是芯片制造的核心设备，更是未来工业化、现代化的基石。如果我们现在不开始研发，将永远受制于人！”

话音刚落，会议室陷入了一阵短暂的沉默，随后爆发出低低的议论声。

许多官员和技术人员面面相觑，表情各异。有的满脸疑惑，有的则眉头紧锁，显然对许志远的提案感到难以理解。

很快，一名穿着灰色中山装的老官员站了起来，语气里带着些许不满：

“许志远同志，我能不能问一句——你说的这个‘光刻机’，到底是个什么东西？

你刚才提到的什么芯片、集成电路，我听着就像是天书。

咱们现在这工业化刚起步，连机床、拖拉机都造不利索，你搞这个高科技的玩意儿，是不是有点太超前了？”

另一个官员也跟着点头附和：“老李说得没错！